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FAAS 8000ICS 在線陰陽離子監測系統
産品概述：
FAAS 8000ICS 在線陰陽離子監測系統采用(yòng)撞擊式氣體吸收技術結合離子色譜分析方法，實現(xiàn)了(le)多點采樣、氣體自(zì)動吸收富集、在線質量控制等全自(zì)動在線監測功能(néng)，解決了(le)潔淨室AMC監測過程中人員投入大(dà)、數據監測頻率低(dī)、數據反饋不及時(shí)等問題；可應用(yòng)于半導體廠(chǎng)區(qū)氣态分子污染物（AMC）中酸性物質（MA）、堿性物質(MB)污染物的在線監測。
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FAAS 8000ICS 在線陰陽離子監測系統采用(yòng)撞擊式氣體吸收技術結合離子色譜分析方法，實現(xiàn)了(le)多點采樣、氣體自(zì)動吸收富集、在線質量控制等全自(zì)動在線監測功能(néng)，解決了(le)潔淨室AMC監測過程中人員投入大(dà)、數據監測頻率低(dī)、數據反饋不及時(shí)等問題；可應用(yòng)于半導體廠(chǎng)區(qū)氣态分子污染物（AMC）中酸性物質（MA）、堿性物質(MB)污染物的在線監測。
産品特點
數據可靠
系統實現(xiàn)了(le)自(zì)動遠距離采樣、自(zì)動富集吸收、自(zì)動質量控制、自(zì)動分析、數據自(zì)動上(shàng)傳全流程自(zì)動化。
避免人工(gōng)誤差引入，數據準确可靠。
靈敏度高(gāo)
大(dà)體積進樣濃縮，大(dà)幅提高(gāo)系統檢測能(néng)力，檢出限可達亞ppt級，縮短系統運行周期。
監測面廣
單套系統最多可配置32個點位的樣品采集；
系統通過真空(kōng)泵遠距離采樣，可覆蓋300m範圍内樣品的在線監測。
設計(jì)合規
系統管路及閥組采用(yòng)潔淨的聚四氟乙烯材料設計(jì)，滿足SEMI F57中相關析出雜(zá)質的控制要求。
吸收高(gāo)效
在線雙吸收模塊設計(jì)，有利于節約樣品分析時(shí)間，數據輸出更快(kuài)更高(gāo)效！
應用(yòng)領域
FAAS 8000ICS 在線陰陽離子監測系統主要應用(yòng)于潔淨室環境空(kōng)氣中水(shuǐ)溶性酸堿性污染物的在線監測，可擴展至大(dà)氣中離子污染物的檢測。
