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通用(yòng)科學儀器: 質譜

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SUPEC 2050半導體AMC綜合監測系統

SUPEC 2050半導體AMC綜合監測系統由采樣預處理(lǐ)子系統、氣體監測子系統以及輔助設備和(hé)數據采集與處理(lǐ)子系統等構成，如下(xià)圖所示。
采樣預處理(lǐ)子系統由多路樣氣傳輸管、采樣泵和(hé)分布式多通道(dào)采樣儀組成，可以對(duì)多個點位進行不間斷實時(shí)采樣，并通過管路切換實現(xiàn)不同采樣點樣氣的循環監測。
氣體監測子系統由多個分析儀組成，可以根據不同的監測需求進行定制化的搭配，實現(xiàn)不同物質的在線監測。
輔助系統由集成機櫃和(hé)校準單元組成，可以保證整套系統的正常運行，校準單元可以定期對(duì)系統進行校準，保證監測數據的穩定和(hé)準确。
數據采集與處理(lǐ)子系統可以監控查詢所有測量信息和(hé)系統工(gōng)作(zuò)狀态信息，并将監測數據傳輸至企業的中控平台。

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