TGA-327高(gāo)精度痕量氣體分析儀
高(gāo)精度痕量氣體分析儀(TGA-327)是一款專爲半導體行業空(kōng)氣分子污染分析(AMC)測量氟化氫(HF)而設計(jì)的專業儀器,采用(yòng)光腔衰蕩光譜技術(CRDS),具有超高(gāo)的靈敏度,其檢測下(xià)限可達ppt級别。不需要現(xiàn)場校準,非常适合連續測量。
該分析儀内部管路都進行了(le)特殊塗層,可以有效的減小(xiǎo)氟化氫(HF)分子在管道(dào)壁上(shàng)的吸附,加速測量的響應時(shí)間并消除測量偏差。同時(shí)分析儀采 用(yòng)小(xiǎo)體積腔設計(jì),能(néng)夠進一步提升測量速度。
光腔衰蕩光譜(CRDS)與離子遷移譜(IMS)和(hé)離子色譜傳統技術相比,具有探測下(xià)限低(dī)、響應時(shí)間快(kuài)、無需耗材等顯著優勢,該分析儀具有更優的長期穩定性和(hé)低(dī)維護性,是半導體行業AMC連續監測的理(lǐ)想選擇。
了(le)解詳情